柔嫩、轻浮的钻石膜。本报讯 金刚石，又称钻石，存在差别平常的电子特征。它既是一种精良的绝缘体，又能够让存在必定能量的电子以很小的阻力挪动，成为制作电子产物的优质资料。不外，出产大批的超薄金刚石膜仍面对挑衅。克日，喷鼻港年夜学副教学褚智勤、教学林原与北方科技年夜学助理教学李携曦、北京年夜学教学王琦配合，应用胶带对金刚石停止边沿剥离，出产超薄多晶金刚石膜。相干研讨结果宣布于《天然》。研讨职员起首应用微波等离子体化学气相堆积（CVD）在硅衬底上成长金刚石膜，而后将胶带粘在金刚石顶部名义并沿界面剥离，如许能够将完全的2英寸金刚石膜剥离并坚持其构造完全性。他们发明，这种方式剥离的金刚石片十分薄，不到一微米，比人的头发丝还要细微，并且充足润滑，能够用于硅芯片的蚀刻技巧。据先容，该方式可能年夜范围出产年夜面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米厚度）、超平（亚纳米名义毛糙度）跟超柔性（360°可曲折）的金刚石膜。这些高品质的膜存在平整的可加工名义，支撑尺度的微制作技巧，其超柔性特征容许直接用于变形传感到用，而此前那些厚重的膜则无奈实现该利用。“这不禁得让人想起石墨烯的晚期研讨，事先应用通明胶带从石墨中出产出第一层石墨烯。我素来没想过这种方式还能够用于金刚石。”英国华威年夜学的Julie Macpherson说。“这种新的剥离方式将成为多种装备计划跟试验方式的推进者。”剑桥年夜学的Mete Atatüre说。（沈春蕾）相干论文信息：https://doi.org/10.1038/s41586-024-08218-x 申明：新浪网独家稿件，未经受权制止转载。 -->[db:摘要]
